随着微器件的商业化，非常态工作环境成了影响器件高精度与可靠性获得的重要因素。作为这些微结构的核心元件，微谐振器在非常态环境下的谐振特性研究变得越来越重要。本论文以微谐振器为研究对象，设计温度敏感与阻尼敏感两类谐振器结构，从理论推导、建模仿真与实验验证三方面研究微谐振器谐振频率的温度变化规律，以及系统阻尼与真空关系。主要研究内容和成果如下： 1）简述典型支撑梁固有频率的温度系数模型，梳理支撑梁温度敏感参数，分析温度影响支撑梁固有频率的规律性机制，并以此作为设计目标，对典型支撑梁进行结构参数化仿真。仿真结果表明：在温度环境作用下，直脚梁、蟹脚梁与折叠梁支撑结构的谐振频率都随温度增高而线性减小；梁. ; With the commercialization of micro devices, abnormal working condition becomes key factor that affects the acquisition of high precision and reliability of micro devices. Since the microresonator is the core component of these microstructures, research on its resonant characteristics in abnormal working condition becomes increasingly important. Therefore with micro resonator as the research objec. ; 学位：工程硕士 ; 院系专业：物理与机电工程学院_机械工程 ; 学号：19920111152780